说一下等离子清洗机为什么不放电?

　　射频等离子清洗机核心部件就是射频电源和匹配器，可能会遇到电源启动正常而腔体不放电的情况，那是因为匹配器工作不正常。

　　1、匹配器故障说明

　　一’空气电容损坏

　　故障原因：空气电容在运行过程中摩擦产生导电杂质，造成局部短路;摩擦导致动片轴损坏，无法正常调节。

　　二、进口晶体管故障

　　故障原因：与空气电容动片轴损坏有关，空气电容无法正常工作，射频输出阻抗无法调节，导致晶体管击穿;在使用过程中，匹配器初始值调节不当，匹配时间过长或真空腔体内辉光放电不稳定也会造成晶体管损坏。

　　2、匹配器日常使用注意事项

　　一、定期对真空腔体内的插针公母头进行检查，防止有严重氧化及断裂现象。

　　二、确认电极板摆放正确，无顺序错误;在使用过程中如需调节极板数量及间距，必须确认匹配器自动匹配状态，如匹配时间较长，则需调节初始值。

　　三、定期确认匹配器的初始值，长时间使用可能会出现初始值偏移的状况，需要定期确认并根据实际情况调整。

　　四、如出现初始值严重偏移，则需确认匹配器内部和空气电容叶片是否错位及是否有打火现象，如出现此类情况，需及时处理。空气电容的固定叶片及动片在调到最大时是基本重合的;如出现打火现象，确认叶片有无烧坏，如烧坏可将烧坏位置打磨后再使用，叶片之间的距离太近也会出现打火现象。

　　五、如出现电容无法调节的情况，可打开匹配器，手动控制调节电容，确认叶片电容能否正常旋转。需留意电机与空气电容的传动部分是否有无法转动的情况，出现卡死需及时报修，如出现齿轮与轴之间打滑，可先自行处理。

　　3、其他事项

　　一、匹配器是可长时间运行工作的，平时需注意观察及清洁。定期对匹配内部空气电容区域进行检查，打开盖板查看是否有空气电容摩擦产生的杂质沉积，如有则需用无尘布+酒精的方法清洁，因杂质通常为导电物质不可用气吹，以免出现打火及控制部分短路。

　　二、当匹配器出现无法正常工作时，需及时确认电极板摆放、插针公母头、屏弊盒内连接(是否有接触不良或导电片与外壁接触和距离过近)、匹配器初始值、内部是否清洁、空气电容是否错位和打火、空气电容能否转动(是否有打滑)、传动电机是否能够工作、RF电源是否有输出以及各连接段是否短路等情况。如匹配器内有烧焦的味道和以上问题无法解决，请及时与专业人员联系。

　　三、匹配器内部配件的使用周期是无法具体确认的，这与使用环境、处理产品、使用是否得当等均有关系，主要原因可能是匹配器内杂质造成了短路或打火。