KASHIYAMA干式真空泵SDL Series系列
日本原装进口,日本樫 山kashiyama中国区代理,现货现售,质量有保障。
SDL 系列真空泵机组用于获得真空排气和维护所需的真空源。
可用于大尺寸晶圆和FPD。
通过组合提供大容量。
大于150kl/min也可按需提供。
大容量atm左右,可实现高压泵送。
适用于大型L/L箱。
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列规格
型号 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36E60 | SDL3600 |
最大排气速度 [L/min] *1 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 60,000 |
极限真空度 [Pa] *1 | 0.8 | 0.5 | 0.8 |
电源电压 (50/60Hz) | 3Phase AC200~220V, 380~480V |
曲线图

行业应用:
半导体制造、液晶显示制造、真空干燥、真空填充、锂电池干燥、分子泵前级泵、质谱仪、加速器等。