KASHIYAMA真空泵SDL Series系列

可用于大尺寸晶圆和FPD。

通过组合提供大容量。

大于150kl/min也可按需提供。

大容量atm左右，可实现高压泵送。

适用于大型L/L箱。

溶剂抽空泵也排好了。

KASHIYAMA真空泵SDL Series系列规格

曲线图

行业应用：

半导体制造、液晶显示制造、真空干燥、真空填充、锂电池干燥、分子泵前级泵、质谱仪、加速器等。