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从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。用途:• 高分子材料表面的官能基附与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应,在表面生产-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影响)。同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH2等官能基。• 晶硅圆蚀刻。• 材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。• 石棉预处理(膜过滤灰化)。• 从电子设备到生化市场。• 低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。• 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。• 表面有机物去除。特点:• RF为200W的高性能输出类型(PR200)。• 由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。• 同步,自动调谐,操作简单(PR200)。• 等离子体反应器(灰化设备)(PR200)。• 同步,自动调谐(PR200)。产品优势: ●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。 ●对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。 ●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。 ●高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。 ●特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗。规格:
型号
PR200
PR301
方式
DP模式、圆柱形腔体
性能
发生器功率:
0-200W
0-300W
发生器频率:
射频RF13.56Mhz
发生器匹配方式:
自动匹配(Auto matching)
手动匹配(manul)
构成
腔体材质:
高硼硅玻璃
腔体内尺寸:
φ100×L160mm
φ118×L160mm
反应气体:
一路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。
控制方式:
半自动控制
真空度显示:
数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。
模拟式压力表
配管材质:
SUS不锈钢以及特氟龙
门:
铰链门
外形尺寸:
W350×D400×H500mm
W438×D520×H630mm
真空泵抽速:
4m3/hour
电源规格:
AC220V 10A
重量:
约25kg
约34kg
附属品
真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。
产品展示
Product display
联系电话
021-52960695