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YAMATO等离子灰化机PR210C/300/301 经济型、高频等离子
    发布时间: 2018-12-04 12:15    
YAMATO等离子灰化机PR210C/300/301 经济型、高频等离子

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。

用途:
• 高分子材料表面的官能基附与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应,在表面生产-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影响)。
同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH2等官能基。
• 晶硅圆蚀刻。
• 材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
• 石棉预处理(膜过滤灰化)。
• 从电子设备到生化市场。
• 低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
• 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
• 表面有机物去除。

特点:
• RF为200W的高性能输出类型(PR200)。
• 由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。
• 同步,自动调谐,操作简单(PR200)。
• 等离子体反应器(灰化设备)(PR200)。
• 同步,自动调谐(PR200)。

产品优势:
●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。
●对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
●高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗。



规格:

型号

PR200

PR301

方式

DP模式、圆柱形腔体

性能

发生器功率:

0-200W

0-300W

发生器频率:

射频RF13.56Mhz

发生器匹配方式:

自动匹配(Auto matching)

手动匹配(manul)

 

构成

腔体材质:

高硼硅玻璃

腔体内尺寸:

φ100×L160mm

φ118×L160mm

反应气体:

一路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。

控制方式:

半自动控制

真空度显示:

数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。

模拟式压力表

配管材质:

SUS不锈钢以及特氟龙

门:

                                            铰链门

外形尺寸:

W350×D400×H500mm

W438×D520×H630mm

真空泵抽速:

4m3/hour

电源规格:

                                        AC220V  10A

重量:

  约25kg

   约34kg

附属品

 

真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。




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