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YAMATO等离子清洗机PR500/510/1000 DP模式、桶型
    发布时间: 2019-03-25 11:59    
YAMATO等离子清洗机PR500/510/1000 DP模式、桶型

低温等离子·经典桶型。

PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制
内槽
硅晶圆灰化状态
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。


● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆,玻璃基板对应
 
用途
● 大口径(Φ215mm)石英反应腔
● 小型一体化设计


规格:

型号

PR500

PR510

等离子模式

DP模式,桶形

高频输出功率

Max500W

频率

13.56MHz

同调方式

自动协调

反应腔

石英Φ215×305mm

反应气体

2系统(O2/CF4)

控制

手动

触模屏自动控制

配管材质

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W438 x D520 x H760mm

参照规格书

重量

约60kg

参照规格书

电源

单相AC100V 9A

三相AC200V 8A




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