1.Process耐受性和节能性能进一步发展。

2.在蚀刻等中等工艺中，实现低功耗。

3.Process密封性持续优化。

4.行业内较小占地面积。

5.较小外观设计，在品牌的20000L/min级别中，占地面积减少32%。

5.符合相关行业标准。

6.拥有相关安全认证。符合SEMI/CE/NRTL各安全认证标准的高可靠性设计（MUH不支持NRTL）。