专业售前售后技术支持
快速、高效、创新,基于多年行业经验
1.Process耐受性和节能性能进一步发展。
2.在蚀刻等中等工艺中,实现低功耗。
3.Process密封性持续优化。
4.行业内较小占地面积。
5.较小外观设计,在品牌的20000L/min级别中,占地面积减少32%。
5.符合相关行业标准。
6.拥有相关安全认证。符合SEMI/CE/NRTL各安全认证标准的高可靠性设计(MUH不支持NRTL)。
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