关于等离子清洗机电源偏差过大原因你知道吗?

　　等离子清洗机电源偏差过大原因有：

　　1、真空腔室电机板正负极有插反现象。

　　2、匹配器电源开关是否关掉。

　　3、真空腔室电极插针公母头氧化严重，导电性差。

　　4、电源及匹配器之间连接线缆有无松动或焊接线脱落。

　　5、等离子设备系统参数有无设置。

　　操作方法如下：

　　自动方式：

　　保持下的自动方式：适用于点火位置和匹配位置相差不大系统

　　1.按要求连接系统

　　2.切换到保持、自动、运行状态

　　3.开射频

　　4.自动匹配

　　5. 关射频后，系统自动记下匹配位置，下次从此位置开始调节。

　　预置下的自动方式：适用于点火位置和匹配位置相差较大的系统

　　1. 按要求连接系统

　　2. 切换到预置、自动、运行状态

　　3. 在自动状态和预置状态下，射频关，调节Ca Cb位置，使其处于点火位置

　　4. 开射频

　　5. 自动匹配