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快速、高效、创新,基于多年行业经验
KASHIYAMA MU-P/H系列干式真空泵,同时实现了节能(消耗功率0.7kW)、轻量化,大排期量。
节能、小型、轻量,可以嵌入到各种设备中。
除了节能、轻量的MU-X系列以外,还有可以对应一部分工艺的MU-P系列。
罗茨干式泵在加工过程中具有良好的耐用性和较低的功率消耗。
适用于从轻度到中度的广泛工艺流程。
可进行热N2吹扫,提高工艺耐久性。
KASHIYAMA真空泵MU-P/H系列规格
型号
MU100P/H
MU180P/H
MU300P/H
MU600P/H
MU1200P/H
MU20M18P/H
排气速度[L/min] *2
1,660
3,000
5,000
10,000
20,000
30,000
极限真空度 [Pa] *2
3.0
5.0
0.5
电源电压(50/60Hz)
3Phase AC200~220V *3
电力消耗[kW] *4
0.7
1.0
0.9
0.95
1.05
2.0
尺寸 [mm] L×W×H *5
630×350×360
715×360×408
630×350×520
820×380×655
1000×450×950
重量 [kg]
70
130
110
185
340
行业应用:
半导体制造、液晶显示制造、真空干燥、真空填充、锂电池干燥、分子泵前级泵、质谱仪、加速器等。
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