Kashiyama  MU-X 系列干式真空泵用于半导体器件和液晶显示单元制造过程中的真空排气、真空状态的维护、反应气体和生成气体的排气以及过程室和预处理室的清洁。

1.消耗功率0.35kW

2.占地面积极小

3.适用于各种工具。

4.适合L/L和输送室等清洁泵送。

5.支持SEMI/CE/NRTL安全认证标准

产品参数

曲线图

行业应用：

半导体制造、液晶显示制造、真空干燥、真空填充、锂电池干燥、分子泵前级泵、质谱仪、加速器等。