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快速、高效、创新,基于多年行业经验
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列
原装进口
可用于大尺寸晶圆和FPD。
通过组合提供大容量。
大于150kl/min也可按需提供。
大容量atm左右,可实现高压泵送。
适用于大型L/L箱。
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列规格
型号
SDL12E50
SDL20E50
SDL36E60
SDL3600
最大排气速度
[L/min] *1
25,000
50,000
60,000
极限真空度 [Pa] *1
0.8
0.5
电源电压 (50/60Hz)
3Phase AC200~220V, 380~480V
曲线图
行业应用:
半导体制造、液晶显示制造、真空干燥、真空填充、锂电池干燥、分子泵前级泵、质谱仪、加速器等。
产品展示
Product display
联系电话
021-52960695