樫山 KASHIYAMA SDL系列干式真空泵机组用于获得真空排气和维护所需的真空源。

适用于半导体、液晶面板等行业的大排气量干泵。严苛制程上为SDE系列，轻制程上为SDL系列。

• 可用于大尺寸晶圆和FPD。

• 通过组合提供大容量。

• 大于150kl/min也可按需提供。

• 大容量atm左右，可实现高压泵送。

• 适用于大型L/L箱。

KASHIYAMA真空泵SDL Series系列规格

曲线图

行业应用：

半导体制造、液晶显示制造、真空干燥、真空填充、锂电池干燥、分子泵前级泵、质谱仪、加速器等。