等离子清洗机V系列——13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。

使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。

产品用途：

• 硅晶圆的灰化及蚀刻 

• 基板表面污垢处理 

• IC/LED封装、BGA/CSP基板处理 

• 半导体相关部品的电子材料的干式清洗 

• 自然氧化膜·有机物去除 

• 界面活性处理 

• 表面污染物去除

■ 产品图纸

■ 设备安装图