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YAMATO等离子清洗机V1000/1000X/1000XS RIE·DP模式、多段平行平板电极、大容量
    发布时间: 2019-03-15 10:21    
YAMATO等离子清洗机V1000/1000X/1000XS RIE·DP模式、多段平行平板电极、大容量

高频等离子表面处理装置

操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型,DP和RIE标配的双模等离子清洗机,可对应更多复杂工艺. 
● 标准配备电离式真空计,实时显示真空度,使得控制更为精确。
● 液晶触摸屏控制,操作使用简单,调取数据简单。

安全性·保护
● 标准配备真空泄漏检测功能,可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。
● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器,以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
● 发生器保护回路:超负荷或者RF发生器发生问题时,可自动调低频率来保护发生器。
● 门锁开关:门在未完全关闭时无法启动电源。
● 侧板锁:本体侧板突然打开或者未关好时,会停止电源。
● 紧急停止按键(EMO)标准配备。
● 当装置发生异常时,装置本体发出警告信号的同时,进行以下动作1)关闭主阀。(2)关闭供气阀。(3)停止输出振荡器。(4)停止处理时间。(5)声光报警

产品优势
●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。
●DP&RIE双模处理,可对应更复杂的工艺。
●搭载高精度适配器,高性能RF电源。
●可变电极构造提高等离子处理效果。
●安全保护措施绵密,有效防止对机器以及样品的损害。
●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。



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■ 设备安装图









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