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高频等离子表面处理装置■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型,DP和RIE标配的双模等离子清洗机,可对应更多复杂工艺. ● 标准配备电离式真空计,实时显示真空度,使得控制更为精确。● 液晶触摸屏控制,操作使用简单,调取数据简单。■ 安全性·保护● 标准配备真空泄漏检测功能,可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器,以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。● 发生器保护回路:超负荷或者RF发生器发生问题时,可自动调低频率来保护发生器。● 门锁开关:门在未完全关闭时无法启动电源。● 侧板锁:本体侧板突然打开或者未关好时,会停止电源。● 紧急停止按键(EMO)标准配备。● 当装置发生异常时,装置本体发出警告信号的同时,进行以下动作1)关闭主阀。(2)关闭供气阀。(3)停止输出振荡器。(4)停止处理时间。(5)声光报警■ 产品优势●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。●DP&RIE双模处理,可对应更复杂的工艺。●搭载高精度适配器,高性能RF电源。●可变电极构造提高等离子处理效果。●安全保护措施绵密,有效防止对机器以及样品的损害。●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。■ 产品图纸■ 设备安装图
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