等离子灰化机PR系列——低温等离子·经典桶型。
PR500：手动控制 PR510/1000：自动触摸屏控制

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510/1000）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

硅晶圆灰化状态

用途：

● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆，玻璃基板对应

特点：

大口径（Φ215mm）石英反应腔

小型一体化设计

操作简单的触摸屏方式（PR510型/1000）